萊寶真空泵真空設(shè)備在所有半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中發(fā)揮著極為重要的作用，針對(duì)特殊的生產(chǎn)要求必須選擇適合的真空設(shè)備。過去的幾年里，為*半導(dǎo)體行業(yè)需求，我們縮短產(chǎn)品開發(fā)周期，更加迅速的推出新的產(chǎn)品，大大提高了我們的服務(wù)質(zhì)量。萊寶真空泵需在真空條件下操作的分析儀器行業(yè)是真空設(shè)備醉大和醉復(fù)雜的市場(chǎng)之一。這一市場(chǎng)包括平面分析儀器家族，質(zhì)譜分光光度計(jì)，設(shè)計(jì)各異的電子顯微鏡和氦檢漏儀。我們的產(chǎn)品類型眾多，可適用于實(shí)驗(yàn)室研發(fā)及*簡(jiǎn)單的桌面操作。一些關(guān)鍵的性能參數(shù)顯示出萊寶真空泵、測(cè)量裝置及部件的工作能力，緊湊的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，高超的技術(shù)水平和良好的穩(wěn)定性能。

　　萊寶真空泵結(jié)構(gòu)以及工作原理：

　　萊寶真空泵是單極油封式旋片泵。泵本身帶有防返油閥、氣鎮(zhèn)閥（選配）、出口過濾器、回油線路和和油冷卻回路。泵由直聯(lián)法蘭電機(jī)驅(qū)動(dòng)。

　　安裝在萊寶真空泵體中的偏心轉(zhuǎn)子）有三塊葉片，它們把泵分成三個(gè)隔室，每個(gè)隔室的容積隨轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)周期性的變化。

　　當(dāng)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時(shí)，抽空腔的進(jìn)氣部分容積擴(kuò)大，將氣體從進(jìn)氣口吸入，氣體經(jīng)過空氣濾芯，打開的防返油閥進(jìn)入腔泵。當(dāng)轉(zhuǎn)子進(jìn)一步旋轉(zhuǎn)，葉片從吸入口將泵腔部分分開。這部分泵腔容積減少，氣體被壓縮。氣體在略高于大氣壓時(shí)經(jīng)過排氣閥從泵腔排出。

　　油在注入泵腔起密封、潤(rùn)滑和泵冷卻的作用。壓縮氣體夾帶的油在油箱內(nèi)由于折轉(zhuǎn)而被初步捕集。而后在出口油霧分離器中被*過濾。于是，排氣中油含量下降至低于可見程度。